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更新時間：2023-10-19 
瀏覽次數(shù)：220一種壽命長、價格低、性能高、可進行多種啟閉操作的蝶閥。
長壽命100萬次循環(huán)
價格低廉 可以以較低的價格實現(xiàn)自動壓力控制。
高性能：采用高性能伺服電機、伺服放大器、新型驅(qū)動機構(gòu)。
可實現(xiàn)高性能泄漏規(guī)格（*注1）、多級位置控制、自動壓力控制。
還可以通過閥門 O 形圈提供緊固公差 O 規(guī)格，從而實現(xiàn)最小電導。
NW25 尺寸提供最小直徑 20A。（20A NW25 尺寸還可配備 O 形圈，實現(xiàn)閉的密封。）
低成本閥門MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列是一款不帶閥門O型圈的電導控制專用電動蝶閥。
采用通用性強的三菱電機伺服電機作為閥體的驅(qū)動源，閥體可以停止并保持在全閉、全開或任何其他位置。
現(xiàn)在可以多級改變閥門的開口面積，使其能夠用于廣泛的應(yīng)用，例如保持真空容器內(nèi)的恒定壓力，改變閥門前后的壓力，以及改變排氣流導。
中間停止位置可通過計算機軟件或伺服放大器預先設(shè)定，內(nèi)存中最多可存儲13個位置。
通過從PLC等主機系統(tǒng)發(fā)送信號，機器將以良好的重復性停止在設(shè)定位置。
通過將可選的雙自動壓力控制系統(tǒng)控制器與FPC系列組合，可以實現(xiàn)包括自動壓力控制在內(nèi)的各種控制。
| 法蘭型 | JIS/ISO/CF/NW |
|---|---|
| 泄漏量 | 1×10 -9 Pa?m 3 /s以下 |
| 使用面積 | 10 5 ~ 10 -6 帕 |
| 盤式密封 | 沒有任何 |
| 軸封 | Viton O 型圈 2 級 |
| 口徑 | 20A～100A |
|---|---|
| 電源規(guī)格 | 主電源 AC200V（額定電流 1.5A） 控制電源 AC200V（額定電流 0.2A） 接口電源 DC24V（最大 500mA） |
| 控制方式 | 交流伺服方式 |
| 氣體接觸材料 | SUS304 |
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