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日本horiba光纖型化學藥液濃度計

  • 產(chǎn)品型號:CS-600F
  • 更新時間:2024-08-28

簡要描述:日本horiba光纖型化學藥液濃度計 CS-600F
CS-600F 提供適合生產(chǎn)的更高級功能,如在各種應用中對高溫化學藥液進行在線測量的能力,減少停機時間的穩(wěn)定運行,以及提高空間生產(chǎn)率的緊湊尺寸,以滿足先進半導體濕法制程所需的準確化學藥液濃度管理。

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應用領(lǐng)域綜合

日本horiba光纖型化學藥液濃度計 CS-600F

CS-600F 提供適合生產(chǎn)的更高級功能,如在各種應用中對高溫化學藥液進行在線測量的能力,減少停機時間的穩(wěn)定運行,以及提高空間生產(chǎn)率的緊湊尺寸,以滿足先進半導體濕法制程所需的準確化學藥液濃度管理。

概要:

1.尺寸更小,布局更靈活

CS-600F 濃度計尺寸緊湊,與成熟型號(CS-100F1 系列)相比,高度降低 36%,體積減少 40%,樣品單元光纖電纜所需的空間減少 46%。光源單元和濃度計主機可以遠程單獨安裝,支持根據(jù)化學藥液單元和清洗設備的位置靈活安裝。

2.高溫化學溶液(20 至 80℃)的高穩(wěn)定性在線測量

新的光學系統(tǒng)和改進的處理算法支持在線測量高溫化學藥液,這是先進濕法制程的關(guān)鍵一步。這消除了冷卻化學樣品的需要。HORIBA 的 CS-600F 穩(wěn)定性高,實現(xiàn)了更有效和準確的化學藥液管理。

日本horiba光纖型化學藥液濃度計 CS-600F

CS-600F 提供適合生產(chǎn)的更高級功能,如在各種應用中對高溫化學藥液進行在線測量的能力,減少停機時間的穩(wěn)定運行,以及提高空間生產(chǎn)率的緊湊尺寸,以滿足先進半導體濕法制程所需的準確化學藥液濃度管理。

概要:

1.尺寸更小,布局更靈活

CS-600F 濃度計尺寸緊湊,與成熟型號(CS-100F1 系列)相比,高度降低 36%,體積減少 40%,樣品單元光纖電纜所需的空間減少 46%。光源單元和濃度計主機可以遠程單獨安裝,支持根據(jù)化學藥液單元和清洗設備的位置靈活安裝。

2.高溫化學溶液(20 至 80℃)的高穩(wěn)定性在線測量

新的光學系統(tǒng)和改進的處理算法支持在線測量高溫化學藥液,這是先進濕法制程的關(guān)鍵一步。這消除了冷卻化學樣品的需要。HORIBA 的 CS-600F 穩(wěn)定性高,實現(xiàn)了更有效和準確的化學藥液管理。


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