ckd工藝氣體用減壓閥

簡要描述：ckd工藝氣體用減壓閥PGM
CKD的工藝氣體減壓閥擁有行業(yè)先的密封性能、滯后性和重復(fù)性。
通過供氣的高精度壓力/流量調(diào)整，實現(xiàn)穩(wěn)定的工藝控制。

行業(yè)

半導(dǎo)體制造工序（前工序）

產(chǎn)品詳情

ckd工藝氣體用減壓閥PGM

CKD的工藝氣體減壓閥擁有行業(yè)先的密封性能、滯后性和重復(fù)性。
通過供氣的高精度壓力/流量調(diào)整，實現(xiàn)穩(wěn)定的工藝控制。

半導(dǎo)體制造工序（前工序）
化學(xué)液體供給設(shè)備用元件【高密封性】
有助于工藝穩(wěn)定化
● 閥座部的優(yōu)化設(shè)計和超精密加工
● 最大限度抑制閥閉動作時的2次側(cè)泄漏（流出）
【高微小流量控制性】
實現(xiàn)穩(wěn)定且平穩(wěn)的動作
● 閥座部形狀的優(yōu)化設(shè)計
● 微小流量下也可穩(wěn)定控制
【減少遲滯】
安全滿足目標(biāo)壓力
● 采用高品質(zhì)材料
● 超精密加工

1）電路/圖形設(shè)計

首先，要制作什么樣的半導(dǎo)體，也就是設(shè)計電路圖形。所需的電路圖案因半導(dǎo)體應(yīng)用而異，因此設(shè)計也會每次都發(fā)生變化。由于花樣復(fù)雜，似乎要進行多次操作測試才能完成。

2) 制作光掩模

在半導(dǎo)體基板上制作用于轉(zhuǎn)印 1) 中設(shè)計的電路的掩模。這是使用電腦的案頭工作。

3) 切割硅錠

半導(dǎo)體的基礎(chǔ)是硅單晶。首先，通過在保持這種液態(tài)硅的同時提取單晶來生產(chǎn)硅錠。用線鋸將硅錠切成圓盤狀晶圓。硅錠是圓的，而半導(dǎo)體通常是方形的，所以一塊硅片能得到多少個方塊直接影響生產(chǎn)效率。到2022年一般有300mm以上，450mm以上。

4）硅片拋光

硅片表面凹凸不平，必須打磨光滑。為了磨平，我們

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