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產(chǎn)品型號(hào)：FlexPro/Micro-Z
更新時(shí)間：2024-07-10簡要描述：koenn伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器 FlexPro/Micro-Z Nanomotion Inc. 的超聲波馬達(dá)可以顯著移動(dòng)載物臺(tái)并以納米精度定位。用于半導(dǎo)體設(shè)備真空室中的晶圓傳送和電子顯微鏡的微動(dòng)。這種超聲波馬達(dá)將稱為元件的突起壓在載物臺(tái)上并高速振動(dòng)以移動(dòng)載物臺(tái)。請?jiān)囉门c一般電動(dòng)機(jī)不同的結(jié)構(gòu)簡單的執(zhí)行器。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子,綜合 |
koenn伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器 FlexPro/Micro-Z
koenn伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器 FlexPro/Micro-Z
Nanomotion Inc. 的超聲波馬達(dá)可以顯著移動(dòng)載物臺(tái)并以納米精度定位。
用于半導(dǎo)體設(shè)備真空室中的晶圓傳送和電子顯微鏡的微動(dòng)。
這種超聲波馬達(dá)將稱為元件的突起壓在載物臺(tái)上并高速振動(dòng)以移動(dòng)載物臺(tái)。請?jiān)囉门c一般電動(dòng)機(jī)不同的結(jié)構(gòu)簡單的執(zhí)行器。も內(nèi)蔵しています。位置制御、荷重制御、圧力制御に適しており、入力段は、3 入力（ SIG、FB1、FB2 ）加算型となっています。特に FB2 は指令信號(hào)とフィードバック信號(hào)が同極性の場合に対応する為に、インバータ回路が內(nèi)臓されていす。入力信號(hào)は電圧（±10V）と電流（4-20mA）に対応しています。出力段は、定格電流が±100mA までのノズルフラッパ型サーボ弁を直接駆動(dòng)する電流出力となっています。又、電圧入力（±10V）型サーボ弁（直動(dòng)弁、三段型サーボ弁）駆動(dòng)用に電圧出力にも対応しています。
| 電源 | DC24V±10%電流0.3A | |
| 輸入信號(hào) SIG、FB1、FB2 共用 | ±10V 電壓輸入阻抗 100kΩ 4 至 20mA 電流輸入阻抗 249Ω | |
| 輸出額定值 | ±100mA以下可通過內(nèi)部DIP開關(guān)選擇 或±10V 電流可從5、10、15、20、30、40、50、60、70、80、90、100mA中選擇 | |
| 環(huán)境溫度、濕度 | 0 至 +50°C，90% RH 或更低 | 無結(jié)露 |
| 抖動(dòng)信號(hào) 頻率調(diào)整范圍 Level調(diào)整范圍 | 200Hz正弦波 調(diào)節(jié)范圍在額定輸出電流的20%pp以內(nèi) | |
| 外形尺寸 | 42W x 184H x 102D（毫米） | 不包括連接器的突起 |
| 大量的 | 0.65公斤 |
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